Title of article :
Enhancement of piezoelectric response of diluted Ta doped AlN
Author/Authors :
Hongyan Liu، نويسنده , , Fei Zeng، نويسنده , , Guangsheng Tang، نويسنده , , Feng Pan، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2013
Abstract :
Hongyan Liu, Fei Zeng, Guangsheng Tang, Feng Pan
Keywords :
Piezoelectric response , Ta , AlN
Journal title :
Applied Surface Science
Journal title :
Applied Surface Science