مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Chemical vapor deposition of carbon films: in-situ plasma diagnostics

Title of article :

Chemical vapor deposition of carbon films: in-situ plasma diagnostics

Author/Authors :

A.N. Obraztsov and ، نويسنده , , A.A. Zolotukhin، نويسنده , , A.O. Ustinov، نويسنده , , A.P Volkov، نويسنده , , Yu.P. Svirko، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 2003

Pages :

From page :

836

To page :

839

Journal title :

Carbon

Serial Year :

2003

Journal title :

Carbon

Record number :

1119083

Link To Document :