Title of article
Influence of argon flow rate on the surface morphology and roughness of the DLC films prepared by MW ECR\PACVD
Author/Authors
Abdelkader Khettache، نويسنده , , Mohamed Zine Touhami، نويسنده , , Buchkremer Hermanns Heinrich، نويسنده , , Lamine Mahdjoubi ، نويسنده , , Bouguerra Bouzabata، نويسنده , , Wei? Horst، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2003
Pages
3
From page
856
To page
858
Keywords
A. Diamond-like carbon , B. chemical vapour deposition , D. Surface properties
Journal title
Carbon
Serial Year
2003
Journal title
Carbon
Record number
1119090
Link To Document