High growth rate of vertically aligned carbon nanotubes using a plasma shield in microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition

Hiroshi Kinoshita، نويسنده , , Ippei Kume، نويسنده , , Hirokazu Sakai، نويسنده , , Masahito Tagawa، نويسنده , , Nobuo Ohmae، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2004

4

2753

2756

B. Chemical vapor deposition , A. Carbon nanotubes , C. Electron microscopy

Carbon

2004

Carbon

1120861