Title of article
Recent developments on CMOS MAPS for the SuperB Silicon Vertex Tracker
Author/Authors
Rizzo، نويسنده , , G. and Comott، نويسنده , , D. and Manghisoni، نويسنده , , M. and Re، نويسنده , , V. and Traversi، نويسنده , , G. and Fabbri، نويسنده , , L. and Gabrielli، نويسنده , , Orazio A. and Giorgi، نويسنده , , F. De Pellegrini، نويسنده , , G. and Sbarra، نويسنده , , C. and Semprini-Cesari، نويسنده , , N. and Valentinetti، نويسنده , , S. and Villa، نويسنده , , M. and Zoccoli، نويسنده , , Eduardo A. and Berra، نويسنده , , A. and Lietti، نويسنده , , D. and Prest، نويسنده , , M. and Bevan، نويسنده , , A. and Wilson، نويسنده , , Jack F. and Beck، نويسنده , , G. and Morris، نويسنده , , J. and Gannaway، نويسنده , , F. and Cenci، نويسنده , , R. and Bombelli، نويسنده , , L. and Citterio، نويسنده , , M. and Coelli، نويسنده , , S. and Fiorini، نويسنده , , C. and Liberali، نويسنده , , V. and Monti، نويسنده , , M. and Nasri، نويسنده , , B. and Neri، نويسنده , , N. and Palombo، نويسنده , , F. and Stabile، نويسنده , , A. and Balestri، نويسنده , , G. and Batignani، نويسنده , , G. and Bernardelli، نويسنده , , A. and Bettarini، نويسنده , , S. and Bosi، نويسنده , , F. and Casarosa، نويسنده , , G. and Ceccanti، نويسنده , , M. Cristina Forti، نويسنده , , F. and Giorgi، نويسنده , , M.A. and Lusiani، نويسنده , , A. and Mammini، نويسنده , , P. and Morsani، نويسنده , , F. and Oberhof، نويسنده , , B. and Paoloni، نويسنده , , E. and Perez، نويسنده , , A. and Petragnani، نويسنده , , G. and Profeti، نويسنده , , A. and Soldani، نويسنده , , A. and Walsh، نويسنده , , J. and Chrzaszcz، نويسنده , , M. and Gaioni، نويسنده , , L. and Manazza، نويسنده , , A. and Quartieri، نويسنده , , E. and Ratti، نويسنده , , Marina L. Chiarappa-Zucca، نويسنده , , S. and Alampi، نويسنده , , G. and Cotto، نويسنده , , G. and Gamba، نويسنده , , D. and Zambito، نويسنده , , S. and Dalla Betta، نويسنده , , G.-F. and Fontana، نويسنده , , G. and Pancheri، نويسنده , , L. and Povoli، نويسنده , , M. and Verzellesi، نويسنده , , G. and Bomben، نويسنده , , M. and Bosisio، نويسنده , , L. and Cristaudo، نويسنده , , P. and Lanceri، نويسنده , , L. and Liberti، نويسنده , , B. and Rashevskaya، نويسنده , , I. and Stella، نويسنده , , C. and Vitale، نويسنده , , L.، نويسنده ,
Pages
5
From page
283
To page
287
Abstract
In the design of the Silicon Vertex Tracker for the high luminosity SuperB collider, very challenging requirements are set by physics and background conditions on its innermost Layer0: small radius (about 1.5 cm), resolution of 10 – 15 μ m in both coordinates, low material budget < 1 % X 0 , and the ability to withstand a background hit rate of several tens of MHz / cm 2 . Thanks to an intense R&D program the development of Deep NWell CMOS MAPS (with the ST Microelectronics 130 nm process) has reached a good level of maturity and allowed for the first time the implementation of thin CMOS sensors with similar functionalities as in hybrid pixels, such as pixel-level sparsification and fast time stamping. Further MAPS performance improvements are currently under investigation with two different approaches: the INMAPS CMOS process, featuring a quadruple well and a high resistivity substrate, and 3D CMOS MAPS, realized with vertical integration technology. In both cases specific features of the processes chosen can improve charge collection efficiency, with respect to a standard DNW MAPS design, and allow to implement a more complex in-pixel logic in order to develop a faster readout architecture. Prototypes of MAPS matrix, suitable for application in the SuperB Layer0, have been realized with the INMAPS 180 nm process and the 130 nm Chartered/Tezzaron 3D process and results of their characterization will be presented in this paper.
Keywords
Vertex detectors , Hybrid Pixels , CMOS MAPS pixel sensors , Charged particle tracking , Solid state detectors
Journal title
Astroparticle Physics
Record number
2013347
Link To Document