Author/Authors :
Sayago، نويسنده , , I. and Aleixandre، نويسنده , , M. and Martيnez، نويسنده , , A. and Fernلndez، نويسنده , , M.J. and Santos، نويسنده , , J.P. and Gutiérrez، نويسنده , , J. and Gràcia، نويسنده , , I. and Horrillo، نويسنده , , M.C.، نويسنده ,
Abstract :
The main purpose of this study consists of researching the piezoelectric characteristics of ZnO films grown by RF magnetron sputtering in reactive plasma. In this way the influence of deposition parameters, such as RF power and plasma oxygen content, on t
Keywords :
SAW , ZNO , piezoelectric material , sputtering
