Author/Authors :
Reza Aghaeizadeh Zoroofi، نويسنده , , Hisashi Taketani، نويسنده , , Shinichi Tamura، نويسنده , , Yoshinobu Sato، نويسنده , , Kazuma Sekiya، نويسنده ,
Keywords :
Neural networks , Contamination classification , Optical filtering , Minimum distance algorithm , Maximum likelihood classifier , IC wafer inspection , Industrial automation
