Title of article :
Defining the parameters of a cantilever tip AFM by reference structure
Author/Authors :
Bykov، نويسنده , , V.A. and Novikov، نويسنده , , Yu.A. and Rakov، نويسنده , , A.V. and Shikin، نويسنده , , S.M.، نويسنده ,
Issue Information :
دوماهنامه با شماره پیاپی سال 2003
Abstract :
A method of measurement and control of atomic force microscope (AFM) probe parameters is offered. The AFM real cantilever parameters are defined.
Keywords :
Dimensional metrology , AFM , Cantilever , Tip characterization , Atomic Force Microscope
Journal title :
Ultramicroscopy
Journal title :
Ultramicroscopy
