Author/Authors :
Hilton، نويسنده , , G.C. and Beall، نويسنده , , J.A. and Doriese، نويسنده , , W.B. and Duncan، نويسنده , , W.D. and Ferreira، نويسنده , , L.S. and Irwin، نويسنده , , K.D. and Reintsema، نويسنده , , C.D. and Ullom، نويسنده , , J.N. and Vale، نويسنده , , L.R. and Xu، نويسنده , , Y. and Zink، نويسنده , , B.L. and Parkes، نويسنده , , W. and Bunting، نويسنده , , A.S. and Dunare، نويسنده , , C.C. and Gundlach، نويسنده , , A.M. and Stevenson، نويسنده , , J.T.M. and Walton، نويسنده , , A.J. and Schulte، نويسنده , , E. and Corrales، نويسنده , , E. and Sienicki، نويسنده , , J.P. and Bintley، نويسنده , , Dan and Ade، نويسنده , , P.A.R. and Sudiwala، نويسنده , , Rashmi V. and Woodcraft، نويسنده , , Adam L. and Halpern، نويسنده , , Mark and Holland، نويسنده , , W. and Audley، نويسنده , , M.D. and MacIntosh، نويسنده , , M.، نويسنده ,
Abstract :
Prototype imaging subarrays for SCUBA-2 (the Submillimeter Common-User Bolometer Array) have been fabricated and tested. The pixel count (1280) of these wafer-scale imagers is significantly larger than any other low-temperature detectors produced to date, and represents a major step forward for the low-temperature detector community. These transition-edge-sensor (TES) based imagers utilize several innovations including in-focal-plane superconducting quantum intereference device (SQUID) multiplexers, micromachined Si block absorbers, and superconducting wafer hybridization. In this paper, we review the fabrication processes developed for these imagers and present recent optical data from a prototype imaging subarray.