Unsupervised spatial pattern classification of electrical-wafer-sorting maps in semiconductor manufacturing

F. Di Palma، نويسنده , , G. De Nicolao، نويسنده , , G. Miraglia، نويسنده , , E. Pasquinetti، نويسنده , , F. Piccinini، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2005

9

1857

1865

Self organizing feature maps , Adaptive resonance theory , semiconductor manufacturing , Wafer maps

PATTERN RECOGNITION LETTERS

2005

PATTERN RECOGNITION LETTERS

251158