Title of article :
دراسة تاثير تغير زمن الاكسدة في الخصائص التركيبية لاغشية In2O3 الرقيقة
Author/Authors :
شھاب, علية عبد المحسن جامعة بغداد - كلية التربية للعلوم الصرفة (ابن الھيثم) - قسم الفيزياء, العراق , كاظم, شيماء احمد جامعة بغداد - كلية التربية للعلوم الصرفة (ابن الھيثم) - قسم الفيزياء, العراق
Abstract :
يتناول هذا البحث تاثير تغير زمن الاكسدة في الخصائص التركيبية لاغشية اوكسيد الانديوم الثلاثي (In2O3) الرقيقة المرسبة على قواعد زجاجية واخرى من السليكون بطريقة التبخير الحراري بالفراغ انديوم ثم اكسدته بتقنية الاكسدة الحرارية . وكان سمك الغشاء (400 ± 10 nm) بدرجة حرارة اكسدة (673 K) ولزمن مختلف . اوضحت نتائج قياسات الخصائص التركيبية ((SEM , AFM , XRD ان افضل الخصائص التي تم الحصول عليها كانت عند زمن اكسدة ساعة واحدة ، اذ كانت قيمة كل من الخشونة و متوسط الخشونة و متوسط الحجم الحبيبي هي الاقل ، كذلك تم حساب كثافة الانخلاعات والمطاوعة و عدد البلورات وكانت قيمة كل منها هي الاكبر عند الزمن نفسه.
Keywords :
غشاء In2O3 , الرقيق , الخصائص التركيبية , تقنية الاكسدة , المجھر الالكتروني الماسح , SEM
Journal title :
Ibn Alhaitham Journal For Pure and Applied Science
Journal title :
Ibn Alhaitham Journal For Pure and Applied Science
