دراسة العيوب المحتثة للسليكون احادي البلورة من جراء التشعيع بليزرNd- YAG النبضي

ان تفاعل الليزر مع شبه الموصل ( السليكون ) من العمليات المهمة جداً التي يجب ان توخذ بنظر الاعتبار عند استخدام الليزر في التطبيقات الصناعية. اذ ان هذا التفاعل له دور كبير في التاثير على ميكانيكية الانتشار المحتث بالليزر والذي يرتبط اساسا باداء الكواشف من خلال الخصائص البصرية لشبه الموصل. بينت الدراسة الحالية ان العيوب الحاصلة 10 والتي ms 1.06 وامد نبضة μm و بطول موجي Nd-YAG في السليكون احادي البلورة من جراء التشعيع بليزر تتضمن تلفاً على شكل (تكسرات ، تحدبات ، تقعرات ، ثقوب) واعتماداً على كثافة القدرة حيث استخدم لهذا الغرض المجهر البصري. كما اظهرت نتائج دراسة حيود الاشعة السينية تحولاً طورياً من احادي البلورة الى الطور (متعدد البلورات، 1.4 ) على التوالي. كما وجد ان المقاومة السطحية و عمق الاختراق Kw , 0.75Kw) العشوائي) عند التشعيع بذروة قدرة يتناسب طردياً مع زيادة قدرة التشعيع .