Title of article :
Combined use of computational intelligence ، materials data for on-line monitoring ، control of MBE experiments
Author/Authors :
Zhuo Meng، نويسنده , , Qian Yang، نويسنده , , P. C. Yip، نويسنده , , K. G. Eyink، نويسنده , , W. T. Taferner، نويسنده , , B. Igelnik، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 1998
Pages :
9
From page :
587
To page :
595
Keywords :
optimization , Molecular beam epitaxy (MBE) , Process monitoring and control , Ellipsometry , Guided evolutionary simulated annealing (GESA) , Stochastic Search
Journal title :
Engineering Applications of Artificial Intelligence
Serial Year :
1998
Journal title :
Engineering Applications of Artificial Intelligence
Record number :
301518
Link To Document :
بازگشت