Title of article :
IR laser induced decomposition of tetrakis(dimethylamido)titanium for chemical vapor deposition of TiNx
Author/Authors :
M. Janovska، نويسنده , , Z. Bastl، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 1996
Pages :
5
From page :
727
To page :
731
Journal title :
Infrared Physics & Technology
Serial Year :
1996
Journal title :
Infrared Physics & Technology
Record number :
327479
Link To Document :
https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=10&DC=327479
بازگشت