Title of article :
Thin film pyroelectric array as a detector for an infrared gas spectrometer
Author/Authors :
B. Willing، نويسنده , , Rahul M. Kohli، نويسنده , , P. Muralt، نويسنده , , O. Oehler، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 1998
Keywords :
Gas spectrometer , Silicon micromachining , Pyroelectrics , thin films
Journal title :
Infrared Physics & Technology
Journal title :
Infrared Physics & Technology
