• Title of article

    Planarization of CMOS ROIC dies for uncooled detectors

  • Author/Authors

    Hongchen Wang، نويسنده , , Xinjian Yi، نويسنده , , Sihai Chen، نويسنده , , Shaowei He، نويسنده , , Xiaochao Fu، نويسنده , , Hong Ma، نويسنده ,

  • Issue Information
    روزنامه با شماره پیاپی سال 2006
  • Pages
    6
  • From page
    251
  • To page
    256
  • Keywords
    Planarization , Polyimide , BCB , CMOS dies , Uncooled detector
  • Journal title
    Infrared Physics & Technology
  • Serial Year
    2006
  • Journal title
    Infrared Physics & Technology
  • Record number

    328003