Fabrication of plastic microlens array using gas-assisted micro-hot-embossing with a silicon mold

C.-Y. Chang، نويسنده , , S.-Y. Yang، نويسنده , , L.-S. Huang، نويسنده , , J.-H. Chang، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2006

11

163

173

Gas-assisted micro-hot-embossing , Hot embossing , Deep reactive ion etching , Replication , Microlens array , Silicon mold

Infrared Physics & Technology

2006

Infrared Physics & Technology

328026