Author/Authors :
M. Saito، نويسنده , , I. Yamada، نويسنده , , T. Mizuta، نويسنده , , A. Matsuura، نويسنده , , H. Kawashima، نويسنده , , A. Sakaki، نويسنده , , N. Otsuka، نويسنده , , Y. Shindo، نويسنده , , T. Kuwabara، نويسنده ,
Keywords :
Electrostatic force , tunable filter , Infrared spectroscopy , Silicon