Title of article :
Characterization of co-sputtered Si/MgO films — a comparison with Si/SiO2 and Si/Al2O3 films
Author/Authors :
Naoto Koshizaki، نويسنده , , Hiroyuki Umehara، نويسنده , , Takeshi Sasaki and Toshie Oyama، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 1997
Pages :
8
From page :
1085
To page :
1092
Journal title :
nanostructured materials
Serial Year :
1997
Journal title :
nanostructured materials
Record number :
332218
Link To Document :
بازگشت