مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Manufacturing and structure investigation of TiN-Al2O3-multilayers

Title of article :

Manufacturing and structure investigation of TiN-Al2O3-multilayers

Author/Authors :

H. -D. Bauer، نويسنده , , Matthew B. Arnold، نويسنده , , K. Bartsch، نويسنده , , R. Rennekamp and A. Leonhardt، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 1999

Pages :

From page :

1101

To page :

1109

Journal title :

nanostructured materials

Serial Year :

1999

Journal title :

nanostructured materials

Record number :

332689

Link To Document :