Title of article
Manufacturing and structure investigation of TiN-Al2O3-multilayers
Author/Authors
H. -D. Bauer، نويسنده , , Matthew B. Arnold، نويسنده , , K. Bartsch، نويسنده , , R. Rennekamp and A. Leonhardt، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 1999
Pages
9
From page
1101
To page
1109
Journal title
nanostructured materials
Serial Year
1999
Journal title
nanostructured materials
Record number
332689
Link To Document