Title of article
Crystalline silicon nitride thin films grown by pulsed YAG laser deposition
Author/Authors
Y. Suda، نويسنده , , K. Ebihara، نويسنده , , K. Baba، نويسنده , , H. Abe and A.M. Grishin، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 1999
Pages
4
From page
391
To page
394
Journal title
nanostructured materials
Serial Year
1999
Journal title
nanostructured materials
Record number
332823
Link To Document