مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري

Title of article :

Phase shifting SEM moiré method

Author/Authors :

Huimin Xie، نويسنده , , Haixia Shang، نويسنده , , Fulong Dai، نويسنده , , Biao Li and Yongming Xing، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 2004

Pages :

From page :

291

To page :

297

Keywords :

Strain , MEMS , Phase shifting technique , Holographic grating , SEM scanning moir(e method

Journal title :

OPTICS & LASER TECHNOLOGY

Serial Year :

2004

Journal title :

OPTICS & LASER TECHNOLOGY

Record number :

335050

Link To Document :