Author/Authors :
Fei Wang، نويسنده , , Chunsheng Ma، نويسنده , , Wei Sun، نويسنده , , Aize Li، نويسنده , , Yu Zhao، نويسنده , , Zhenhua Jiang and Daming Zhang، نويسنده ,
Keywords :
Electrostatic actuated , MOEMS , Slant lower electrode , Switching time , Torsion beam , Actuating voltage