Author/Authors :
Jason Cho، نويسنده , , Chern-Sheng Lin، نويسنده , , Ben Jamin Jan، نويسنده , , Chia-Hau Lin، نويسنده , , Nin-Chun Chang، نويسنده ,
Keywords :
Fourier phase shift method , Mechanism of multi-track and concentricity , Centroid calculation method