Fracture toughness measurement of thin-film silicon

T.، نويسنده , , O، نويسنده , , X. LI، نويسنده , , S. NAKAO، نويسنده , , T. KASAI، نويسنده , , H. TANAKA، نويسنده , , M. SHIKIDA، نويسنده , , K. SATO، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2005

8

687

694

fracture toughness , MEMS , Silicon , single crystal , thin film.

Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures

2005

Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures

359870