Title of article :
Characterization of strength properties of thin polycrystalline silicon films for MEMS applications
Author/Authors :
R. Boroch، نويسنده , , J. Wiaranowski، نويسنده , , R. Mueller-Fiedler، نويسنده , , M. Ebert، نويسنده , , J. Bagdahn، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2007
Keywords :
Fracture strength , Polysilicon , strength prediction , Weibull distribution
Journal title :
Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures
Journal title :
Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures
