مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Mechanics of relaxing SiGe islands on a viscous glass

Title of article :

Mechanics of relaxing SiGe islands on a viscous glass

Author/Authors :

R. Huang، نويسنده , , H. Yin، نويسنده , , J. Liang، نويسنده , , J. C. Sturm، نويسنده , , K. D. Hobart ، نويسنده , , Z. Suo، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 2002

Pages :

From page :

441

To page :

456

Keywords :

semiconductor fabrication , stress relaxation , elasticplate , viscous flow , Fracture

Journal title :

Acta Mechanica Sinica

Serial Year :

2002

Journal title :

Acta Mechanica Sinica

Record number :

360338

Link To Document :