مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Optical tomography for dielectric profiling in processing electronic materials

Title of article :

Optical tomography for dielectric profiling in processing electronic materials

Author/Authors :

L. Zeni، نويسنده , , R. Bernini، نويسنده , , R. Pierri، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 2000

Pages :

From page :

137

To page :

142

Keywords :

Optical tomography , Doping profile , Contactless measurements , Semiconductor material

Journal title :

Chemical Engineering Journal

Serial Year :

2000

Journal title :

Chemical Engineering Journal

Record number :

365180

Link To Document :