Author/Authors :
P. Sichler، نويسنده , , M. I. Kilani and S. Buttgenbach ، نويسنده , , L. Baars-Hibbe، نويسنده , , C. Schrader، نويسنده , , K. -H. Gericke، نويسنده ,
Keywords :
Microreactor , Fluorinated waste gas , Atmospheric plasma , Micro-structured electrode