Dose control circuit for digital electrostatic electron-beam array lithography

Chandra Sekhar A. Durisety، نويسنده , , Rajagopal Vijayraghavan، نويسنده , , Lakshmipriya Seshan، نويسنده , , Syed K. Islam and Benjamin J. Blalock ، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2006

8

143

150

CNF . Dose control circuit . DCC . Integrator .Lithography . Mask-less lithography . Photolithography

Analog Integrated Circuits and Signal Processing

2006

Analog Integrated Circuits and Signal Processing

367667