Automatic control in microelectronics manufacturing: Practices, challenges, and possibilities

Thomas F. Edgar، نويسنده , , Stephanie W. Butler، نويسنده , , W. Jarrett Campbell، نويسنده , , Carlos Pfeiffer، نويسنده , , Christopher Bode، نويسنده , , Sung Bo Hwang، نويسنده , , K. S. Balakrishnan، نويسنده , , J. Hahn، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2000

37

1567

1603

quality control , Sensors , Temperature Control , End point control , Factory automation , Microelectronics manufacturing , Predictive control , Process control

Automatica

2000

Automatica

369051