• Title of article

    Adaptive phase measurement system for surface profile measurement

  • Author/Authors

    Pugh، نويسنده , , A.J.; Houghton، نويسنده , , W.; Belmont، نويسنده , , M.R.; Shepherd، نويسنده , , P.R.; Pennock، نويسنده , , S.R.، نويسنده ,

  • Issue Information
    روزنامه با شماره پیاپی سال 2003
  • Pages
    6
  • From page
    113
  • To page
    118
  • Journal title
    I E T Circuits, Devices and Systems
  • Serial Year
    2003
  • Journal title
    I E T Circuits, Devices and Systems
  • Record number

    371521