Title of article
Resonant Auger electron spectroscopy for analysis of the chemical state of phosphorus segregated at SiO2/Si interfaces
Author/Authors
M. Oshima، نويسنده , , and Y. Yoshimura، نويسنده , , K. Ono، نويسنده , , H. Fujioka، نويسنده , , Y. Sato، نويسنده , , Y. Baba، نويسنده , , K. Yoshii and T.A. Sasaki، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 1998
Pages
5
From page
603
To page
607
Keywords
Phosphorus , SiOJSi interfaces , Auger electron spectroscopy
Journal title
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY & RELATED PHENOMENA
Serial Year
1998
Journal title
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY & RELATED PHENOMENA
Record number
378961
Link To Document