• Title of article

    Spectroscopic study of CNx films grown by magnetron sputter deposition

  • Author/Authors

    J. -H. Guo، نويسنده , , W. T. Zheng، نويسنده , , C. S?the، نويسنده , , N. Hellgren، نويسنده , , A. Agui، نويسنده , , J. -E. Sundgren and J. Nordgren، نويسنده ,

  • Issue Information
    روزنامه با شماره پیاپی سال 1999
  • Pages
    4
  • From page
    551
  • To page
    554
  • Keywords
    Resonant X-ray emission spectroscopy , X-ray absorption , Carbon nitride
  • Journal title
    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY & RELATED PHENOMENA
  • Serial Year
    1999
  • Journal title
    JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY & RELATED PHENOMENA
  • Record number

    379314