Destruction of volatile organic compounds used in a semiconductor industry by a capillary tube discharge reactor

Kohno، نويسنده , , H.، نويسنده , , Berezin، نويسنده , , A.A.، نويسنده , , Jen-Shih Chang، نويسنده , , Tamura، نويسنده , , M.، نويسنده , , Yamamoto، نويسنده , , T.، نويسنده , , Shibuya، نويسنده , , A.، نويسنده , , Honda، نويسنده , , S.، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 1998

14

953

966

plasmachemistry , volatile organic compounds. , Nonthermal plasma , environmentaltechnology , capillary tube discharge reactors , gas discharge , aerosols

IEEE Transactions on Industry Applications

1998

IEEE Transactions on Industry Applications

380694