مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Direct electrostatic levitation and propulsion of silicon wafer

Title of article :

Direct electrostatic levitation and propulsion of silicon wafer

Author/Authors :

Ju-Jin Kim، نويسنده , , Yih، نويسنده , , T.C.، نويسنده , , Higuchi، نويسنده , , T.، نويسنده , , Jong Up Jeon، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 1998

Pages :

From page :

975

To page :

984

Keywords :

silicon wafers. , Electrostatic forces , Levitation , noncontact manipulation , Propulsion

Journal title :

IEEE Transactions on Industry Applications

Serial Year :

1998

Journal title :

IEEE Transactions on Industry Applications

Record number :

380696

Link To Document :