Removal of C2F6 from a semiconductor process flue gas by a ferroelectric packed-bed barrier discharge reactor with an adsorber

Urashima، نويسنده , , K.، نويسنده , , Kostov، نويسنده , , K.G.، نويسنده , , Jen-Shih Chang، نويسنده , , Okayasa، نويسنده , , Y.، نويسنده , , Iwaizumi، نويسنده , , T.، نويسنده , , Yoshimura، نويسنده , , K.، نويسنده , , Kato، نويسنده , , T.، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2001

8

1456

1463

Barrier discharge , BaTiO3 , C2F6 , Greenhouse effect , Hybrid System , packed-bed reactor , semiconductor process.

IEEE Transactions on Industry Applications

2001

IEEE Transactions on Industry Applications

381286