Title of article
Fundamental study of an electrostatic chuck for silicon wafer handling
Author/Authors
Asano، نويسنده , , K.، نويسنده , , Hatakeyama، نويسنده , , F.، نويسنده , , K. Yatsuzuka، نويسنده , , K.، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2002
Pages
6
From page
840
To page
845
Keywords
Dielectric thin film , electrostatic chuck , electrostaticforce , holding system for silicon wafer , interdigitated electrodessystem.
Journal title
IEEE Transactions on Industry Applications
Serial Year
2002
Journal title
IEEE Transactions on Industry Applications
Record number
381430
Link To Document