CF Decomposition of Flue Gas From Semiconductor Process Using Inductively Coupled Plasma

Tomoyuki Kuroki، نويسنده , , Junko Mine، نويسنده , , Satoshi Odahara، نويسنده , , and Masaaki Okubo، نويسنده , , Toshiaki Yamamoto، نويسنده , , and Noboru Saeki، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2005

8

221

228

perfluorocarbons (PFCs). , Decomposition , inductively coupled plasma (ICP) , CF4 , hydrofluorocarbons (HFCs)

IEEE Transactions on Industry Applications

2005

IEEE Transactions on Industry Applications

381699