Title of article :
Shape-based optimal estimation and design of curve evolution processes with application to plasma etching
Author/Authors :
Berg، نويسنده , , J.M.، نويسنده , , Zhou، نويسنده , , N.، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2001
Keywords :
parameter estimation , Level set methods , semiconductormanufacturing , sensitivity equations.
Journal title :
IEEE Transactions on Automatic Control
Journal title :
IEEE Transactions on Automatic Control
