Title of article :
Micro-electromechanical Systems for Nano-science
Author/Authors :
Nicolas F. de. Rooij and U. Staufer ، نويسنده , , C. Beuret، نويسنده , , S. Gautsch، نويسنده , , W. Noell، نويسنده , , G. Schuurmann، نويسنده , , C. Stebler ، نويسنده , , N.F. de Rooij ، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2000
Pages :
6
From page :
413
To page :
418
Keywords :
scanning probe microscopy , dust particles , MEMS , electron-beam lithography , space applications
Journal title :
Journal of Nanoparticle Research
Serial Year :
2000
Journal title :
Journal of Nanoparticle Research
Record number :
389995
Link To Document :
بازگشت