Title of article
Suppression of particle generation in a plasma process using a sine-wave modulated rf plasma
Author/Authors
Nobuki Kashihara، نويسنده , , Heru Setyawan، نويسنده , , Manabu Shimada ، نويسنده , , Yutaka Hayashi، نويسنده , , Chan Soo Kim، نويسنده , , Kikuo Okuyama ، نويسنده , , Sugeng Winardi ، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2006
Pages
9
From page
395
To page
403
Keywords
plasma reactor , sine-wave modulation , particle generation control , Nanoparticle
Journal title
Journal of Nanoparticle Research
Serial Year
2006
Journal title
Journal of Nanoparticle Research
Record number
390348
Link To Document