Suppression of particle generation in a plasma process using a sine-wave modulated rf plasma

Nobuki Kashihara، نويسنده , , Heru Setyawan، نويسنده , , Manabu Shimada ، نويسنده , , Yutaka Hayashi، نويسنده , , Chan Soo Kim، نويسنده , , Kikuo Okuyama ، نويسنده , , Sugeng Winardi ، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2006

9

395

403

plasma reactor , sine-wave modulation , particle generation control , Nanoparticle

Journal of Nanoparticle Research

2006

Journal of Nanoparticle Research

390348