Title of article
Study on the applications of SiC thin films to MEMS techniques through a fabrication process of cantilevers
Author/Authors
J.-S. Hyun، نويسنده , , J.-H. Park، نويسنده , , J.-S. Moon، نويسنده , , J.H. Park، نويسنده , , S.H. Kim، نويسنده , , Y.J. Choi، نويسنده , , N.-E. Lee and J.-H. Boo، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2005
Pages
7
From page
309
To page
315
Journal title
Progress in Solid State Chemistry
Serial Year
2005
Journal title
Progress in Solid State Chemistry
Record number
391080
Link To Document