Title of article :
Automated CAD/CAM-Based Nanolithography Using a Custom Atomic Force Microscope
Author/Authors :
M. S. Johannes، نويسنده , , J. F. Kuniholm، نويسنده , , D. G. Cole، نويسنده , , and R. L. Clark، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2006
Keywords :
Atomic force microscopy (AFM) , computer-aideddesign/computer-aided manufacturing (CAD/CAM) , lithography , oxidation. , Nanotechnology
Journal title :
I E E E Transactions on Automation Science and Engineering
Journal title :
I E E E Transactions on Automation Science and Engineering
