Title of article
Nanoscale impedance microscopy-a characterization tool for nanoelectronic devices and circuits
Author/Authors
Suzanne Pingree، نويسنده , , L.S.C.، نويسنده , , Martin، نويسنده , , E.F.، نويسنده , , Shull، نويسنده , , K.R.، نويسنده , , Hersam، نويسنده , , M.C.، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2005
Pages
5
From page
255
To page
259
Keywords
conductiveatomic force microscopy (cAFM) , Failure analysis , Defect detection , Integrated circuits , Impedance spectroscopy , Nanoelectronics , nanoscale impedance microscopy (NIM). , Atomic force microscopy (AFM)
Journal title
IEEE Transactions on Nanotechnology
Serial Year
2005
Journal title
IEEE Transactions on Nanotechnology
Record number
398484
Link To Document