Author/Authors :
Evoy، نويسنده , , S.، نويسنده , , Riegelman، نويسنده , , M.A.، نويسنده , , Naguib، نويسنده , , N.، نويسنده , , Haihui Ye، نويسنده , , Jaroenapibal، نويسنده , , P.، نويسنده , , Luzzi، نويسنده , , D.E.، نويسنده , , Gogotsi، نويسنده , , Y.، نويسنده ,
Keywords :
microelectromechanicalsystems , nanotechnology. , Materials processing , Detectors , microresonators