Pattern Generation by Using Multistep Room-Temperature Nanoimprint Lithography

Michael F. Harrer، نويسنده , , S.، نويسنده , , Yang، نويسنده , , J.K.W.، نويسنده , , Salvatore، نويسنده , , G.A.، نويسنده , , Berggren، نويسنده , , K.K.، نويسنده , , Ilievski، نويسنده , , F.، نويسنده , , Ross، نويسنده , , C.A.، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2007

6

639

644

quasi-arbitrarypatterns , room-temperature. , Multistep , nanoimprint lithography

IEEE Transactions on Nanotechnology

2007

IEEE Transactions on Nanotechnology

398991