• Title of article

    Measurement of particle nucleation and growth in low pressure chemical vapor deposition systems with the particle beam mass spectrometer

  • Author/Authors

    P. J. Ziemann، نويسنده , , P. Liu، نويسنده , , S. Nijhawan، نويسنده , , D. B. Kittelson، نويسنده , , P. H. McMurry and S. L. Girshick، نويسنده , , S. A. Campbell، نويسنده ,

  • Issue Information
    ماهنامه با شماره پیاپی سال 1995
  • Pages
    2
  • From page
    633
  • To page
    634
  • Keywords
    particle beam mass spectrometer , LPCVD , silane , Nucleation , low pressure chemical vapor deposition , PBMS
  • Journal title
    Journal of Aerosol Science
  • Serial Year
    1995
  • Journal title
    Journal of Aerosol Science
  • Record number

    733383

    • Link To Document
    https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=10&DC=733383