• Title of article

    Raman spectroscopy as an on-line measurement technique in a laser-CVD reactor during production of Si3N4

  • Author/Authors

    I.L. Tuinman، نويسنده , , J. Veenstra، نويسنده , , J.C.M. Marijnissen، نويسنده , , B. Scarlett، نويسنده , , J. Schoonman، نويسنده ,

  • Issue Information
    ماهنامه با شماره پیاپی سال 1996
  • Pages
    2
  • From page
    295
  • To page
    296
  • Keywords
    Laser CVD , Raman spectroscopy , Silicon nitride
  • Journal title
    Journal of Aerosol Science
  • Serial Year
    1996
  • Journal title
    Journal of Aerosol Science
  • Record number

    733904

    • Link To Document
    https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=10&DC=733904