Title of article :
CFC-12 Decomposition in a RF plasma system
Author/Authors :
Ya-Fen Wang، نويسنده , , Wen-Jhy Lee، نويسنده , , Chun-Yung Chen، نويسنده ,
Issue Information :
ماهنامه با شماره پیاپی سال 1997
Pages :
2
From page :
279
To page :
280
Keywords :
Taguchi method , Chlorofluorocarbons , RF Plasma system , Reaction Mechanism
Journal title :
Journal of Aerosol Science
Serial Year :
1997
Journal title :
Journal of Aerosol Science
Record number :
734400
Link To Document :
https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=10&DC=734400
بازگشت